石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纤维 销售电话 : 18071880998
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材料简介
Introduction
电熔石英材料，具有羟基含量低、纯度高、耐高温性能强等特性。
广泛应用于半导体行业作为扩散炉及CVD炉元件的材料。
Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.
电熔石英锭
电熔石英管
电熔石英棒
杂质含量
Chemical purity
FLH620L 杂质元素典型值 (ppm)
Al
13
Ca
0.6
Mg
＜0.05
Cu
＜0.01
Fe
0.5
Ni
＜0.05
Li
0.4
K
0.4
Mn
＜0.05
Na
0.6
Zr
1
Ti
1.30
B
＜0.01
FLH621 杂质元素典型值 (ppm)
Al
14.2
Ca
0.6
Mg
＜0.05
Cu
＜0.01
Fe
0.23
Ni
＜0.05
Li
0.44
K
0.25
Mn
＜0.05
Na
0.12
Zr
—
Ti
1.30
B
0.08
FLH621H 杂质元素典型值 (ppm)
Al
8.00
Ca
0.6
Mg
＜0.05
Cu
＜0.01
Fe
0.15
Ni
＜0.05
Li
0.15
K
0.07
Mn
＜0.05
Na
0.08
Zr
—
Ti
1.40
B
0.04
物理性能
Physical Property
力学性能
密度（g/cm³）
杨氏模量（GPa）
泊松比
抗弯强度（MPa）
抗压强度（MPa）
抗拉强度（MPa）
抗扭强度（MPa）
莫氏硬度
2.2
75
0.17
65-95
1100
50
30
6-7
电学性能
介电常数
介电损耗
电阻率（Ω.cm）
3.74
0.0001
1×1016
热学性能
应变点（η=1014.5 ℃）
退火点（η=1013 ℃）
软化点（（η=107.8 ℃）
热导率(W/m·k)(20℃)
比热 (J/kg.k)
热膨胀系数( x10 -7 /k)
α ： 25℃ ~ 320 ℃
1150
1215
1710
1.38
749
5.2-5.8
注：在没有另外说明的情况下，所有值均指在25 ℃以下。 Other sizes available upon requests.
光学性能
Optical properties
红外透过率曲线。 Infrared Transmittance Curve.
紫外透过率曲线。 Ultraviolet Transmittance Curve.
菲利华电熔石英材料
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